無塵室系統

一、循環空調箱(AHU)系統

特點

★以風管輸送清靜空氣特點:
★適用CLASS 100K~1K
★無塵室升級困難
★建造成本低、運轉成本高
★運轉噪音易隔離
★AHU故障嚴重影響無塵室運轉

 

 

二、外氣空調箱(MAU)+FFU+Dry Coil系統

特點

★雙層天板内空間為微負壓 chamber
★適用CLASS 1K~1
★無塵室升級容易
★建造成本較高、運轉成本低
★運轉噪音稍高(55db以下)
★單一或少量FFU故障,不影響無塵室運轉

 

 

三、外氣空調箱(MAU)+Fan-tower+Dry Coil系統

特點

★雙層天板内空間為正壓 chamber
★適用CLASS 1K~1
★無塵室升級容易
★建造成本較高、運轉成本低
★運轉噪音稍高(55db以下)
★單一Fan故障,影響無塵室運轉較大