蜂巢式化學過濾設備 HONEYCOMB WASHER

在現今最尖端的半導體產業來說,對於環境的潔淨度要求比以往更高、更嚴格。                     
NICHIAS所推出的”蜂窩式有機化學過濾設備”  是專對外氣或是存在於潔淨室內的水溶性氣體(NH4+,SO42- , NO2- , NO3-)做完全去除過濾的系統設計裝置,比起以往的水噴霧式來說是更高性能,低壓損,省空間,省能源,更是以最理想的處理方式來去除這些水溶性氣體的最有效方法。

Construction

這個系統構造是以高吸水性蜂窩式的多孔無機纖維材質做斜行形狀排列,再由上頭部份以灑水頭滴下純水方式讓蜂窩式化學過濾器的表面上形成一層水膜,再導入空氣與其接觸後處理,即可將空氣中含有的水溶性去除。


Advantages

NICHIAS採用的是多孔質無機纖維材料,所以在無機纖維的內壁部也能達到保水的效果及能以高效的化學處理方式去除。

 

一、達到低壓力損失
因為有高特性的蜂窩式構造產生優越性的吸水特性,所以不必裝有遮水板,也不會產生水滴到處飛濺的情形。如此就可以將整體設備的壓力損失降到最小。

二、省能源
跟以往的水噴霧式裝置相比之下,這個產品的循環存水量可以減少到原來的1/5用量而已,而且也可省用一些循環幫浦的動力。(省能源效果,消費電力減少50%)

三、省空間
比以往的水噴霧式相比,它的厚度就可以減少50%的空間。

 
Specification

Washer Performance Target gas Air concentration Removal ratio*1
NH4+ 10ppb 80~90%
SO42- 10ppb 80~90%
NO2- , NO3- 10ppb 80~90%
Face velocity through element 2.5(m/s)
Pressure drop thru element 50(Pa)
Circuated water volume (prlmary pure water)*4 Liquid per Gas = 0.03*2
Water supply volume (prlmary pure water)*4 Liquid per Gas =- 0.007*3
*1.以上是以設備做實證試驗的實測值非保證值
*2.處理風速以60000m3/h為想像設定
*3.排除加濕部分的計算
*4.純水的導電度為1.u S/cm