無塵室規範及管理

CLEAN ROOM 等級之分類及標準

ISO14644-1:2015版

潔淨室等級 上限濃度
ISO14644-1 Fed. Std-209E 0.1 μm 0.2 μm 0.3 μm 0.5 μm 1 μm 5.0 μm
ft³ ft³ ft³ ft³ ft³ ft³
Class 1   10 - - - - - - - - - - -
Class 2   100 - 24 - 10 - - - - - - -
Class 3 Class 1 1,000 35 237 7.5 102 3 35 1 - - - -
Class 4 Class 10 10,000 350 2,370 75 1,020 30 352 10 83 - - -
Class 5 Class 100 100,000 - 23,700 750 10,200 300 3,520 100 832 24 - -
Class 6 Class 1,000 1,000,000 - 237,000 - 102,000 - 35,200 1,000 8,320 240 293 7
Class 7 Class 10,000 - - - - - - 352,000 10,000 83,200 2,400 2,930 70
Class 8 Class100,000 - - - - - - 3,520,000 100,000 832,000 24,000 29,300 700
Class 9   - - - - - - 35,200,000 - 8,320,000 - 293,000 -

 

測試環境與項目

★風速-室內壓力
★溫度-新鮮外氣風量
★濕度-內部裝置
★震動-氣流之平行性
★換氣次數-作業者之活動

 


無塵室之測試點數與驗收時機

1. 無塵室之測試點數

ISO14644-1:2015版 無塵室測試點數最新規則

潔淨室的面積(m²) ≦ 2 4 6 8 10 24 28 32 36 52 56 64 68 72 76 104 108 116 148 156 192 232 276 352 436 636 1000 >1000
最小測定點數(NL) 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 NL=27 × (面積/1000)

 

2.無塵室驗收時機

★完工時(As Built)=空調系統可正常運轉之C/R狀態
★休息中(At Rest)=無人但有生產機器運轉之C/R狀態
★運轉中(Operational)=有人亦有生產機器運轉之C/R狀態