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精密恆溫恆濕PRECISION CONSTANT TEMPERATURE
AND HUMIDITY
性能條件
常用範圍 (℃DB,%RH) | 運轉精度 (℃DB,%RH) |
換氣次數 (回/hr) | 吸入溫度變化範圍 (℃DB,%RH) |
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精密恆溫恆濕 | 18~28℃,45~60% | ±0.5℃,±2.5%RH | 50~60 | ±2℃,±5%RH |
超精密恆溫恆濕 | 18~28℃,45~60% | ±0.2℃,±1%RH | 100~120 | ±2℃↓,±5%↓RH |
歷時曲線
- 溫度±0.2℃
- 濕度±1%RH
適用產業
半導體業、TFT-LCD產業、光學產業、製藥業、化妝品業...
精密加工室:光學加工機、奈米加工機
精密量測室:三次元量測機、雷射長度量測機