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精密恆溫恆濕PRECISION CONSTANT TEMPERATURE
AND HUMIDITY
性能條件
常用範圍
(℃DB,%RH)
運轉精度
(℃DB,%RH)
換氣次數
(回/hr)
吸入溫度變化範圍
(℃DB,%RH)
精密恆溫恆濕18~28℃,45~60%±0.5℃,±2.5%RH50~60±2℃,±5%RH
超精密恆溫恆濕18~28℃,45~60%±0.2℃,±1%RH100~120±2℃↓,±5%↓RH
歷時曲線
  • 溫度±0.2℃
  • 濕度±1%RH
適用產業

半導體業、TFT-LCD產業、光學產業、製藥業、化妝品業...
精密加工室:光學加工機、奈米加工機
精密量測室:三次元量測機、雷射長度量測機

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