潔淨室等級		上限濃度
ISO14644-1	Fed. Std-209	0.1 μm		0.2 μm		0.3 μm		0.5 μm		1 μm		5.0 μm
		m³	ft³	m³	ft³	m³	ft³	m³	ft³	m³	ft³	m³	ft³
Class 1		10	-	-	-	-	-	-	-	-	-	-	-
Class 2		100	-	24	-	10	-	-	-	-	-	-	-
Class 3	Class 1	1,000	35	237	7.5	102	3	35	1	-	-	-	-
Class 4	Class 10	10,000	350	2,370	75	1020	30	352	10	83	-	-	-
Class 5	Class 100	100,000	-	23,700	750	10,200	300	3,520	100	832	24	-	-
Class 6	Class 1,000	1,000,000	-	237,000	-	102,000	-	35,200	1,000	8,320	240	293	7
Class 7	Class 10,000	-	-	-	-	-	-	352,000	10,000	83,200	2,400	2,930	70
Class 8	Class 100,000	-	-	-	-	-	-	3,520,000	100,000	832,000	24,000	29,300	700
Class 9		-	-	-	-	-	-	35,200,000	-	8,320,000	-	293,000	-

測試環境與項目

風速-室內壓力

溫度-新鮮外氣風量

濕度-內部裝置

震動-氣流之平行性

換氣次數-作業者之活動

潔淨室的面積 (m²) ≦	2	4	6	8	10	24	28	32	36	52	56	64	68	72	76	104	108	116	148	156	192	232	276	352	436	636	1000	>1000
最小測定點數 (NL)	1	2	3	4	5	6	7	8	9	10	11	12	13	14	15	16	17	18	19	20	21	22	23	24	25	26	27	NL＝27 × (面積/1000)

02無塵室驗收時機

完工時(As Built)=
空調系統可正常運轉之C/R狀態

休息中(At Rest)=
無人但有生產機器運轉之C/R狀態

運轉中(Operational)=
有人亦有生產機器運轉之C/R狀態